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来宾磁控溅射真空镀膜机组

来宾磁控溅射真空镀膜机组

产品别名:

超薄PET镀铜设备

产品特点:
该系列设备在厚度3~4.5um的PET/PP等基材表面采用磁控溅射的方式,双面镀制一层20~70nm的铜膜,方阻约为0.5~20,实现薄膜表面金属化,“PVD铜-高分子支撑层-PVD铜”三明治结构。

产品介绍 PRODUCT INTRODUCTION

● 机组概述/Overview

该系列设备在厚度3~4.5um的PET/PP等基材表面采用磁控溅射的方式,双面镀制一层20~70nm的铜膜,方阻约为0.5~20,实现薄膜表面金属化,“PVD铜-高分子支撑层-PVD铜”三明治结构。
高能量非金属原子轰击、刻蚀和清洗技术,提高结合力,粗化导电集流体与活性物质充分接触,降低电池内阻。低能量、高电离度金属铜原子,沉积致密铜膜;高能量、低密度氩离子,周期性刻蚀,解决铜膜针孔率高的问题。大面积铜膜应力应变调控技术,实现铜膜的快速沉积,提升生产效率。

● 机组特点Characteristic

主辊、副辊两级冷却,冷却效果,薄膜不变形;
卷绕系统均采用西门子伺服系统(也可选西门子变频电机+西门子变频器)张力稳定;
可镀金属、非金属,膜层牢固度好;
采用双主辊,可实现在基材上双面溅射度膜。

● 主要技术指标Main technical indicators

项目 Project/型号Model FVMC-1100
最大宽度 Maximumwidth(mm) 600-1850
最大卷绕径 Maximum winding diameter (mm) 400
镀膜模式/Coating mode 一次完成双面镀铜膜
蒸镀压强 Vapor deposition pressure (Pa)
循环水量 Circulating water volume (m³/h) 35
平均耗电量 Average power consumption(Kw) 170
卷绕带材 Windingtape(um) 3~4.5umPET/PP
最大卷绕速度Maximum winding speed (m/min) 600/720
月产量Monthly production 180t

备注:以上参数仅供参考,最终参数配置以技术附件为准。

● 应用Application

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