产品介绍 PRODUCT INTRODUCTION

一、定义与定位

普冷 = 普通低温冷却设备，行业统称冷水机、水冷机、循环冷却机，制冷温度区间5℃～30℃，少数低温普冷可达 - 5℃，单级压缩制冷，区别于复叠式 - 80℃以下深冷机。

作用：给镀膜机各类发热部件持续恒温散热，不具备水汽捕集功能，只负责控温降温，是镀膜基础标配。

二、核心冷却对象（镀膜机全部发热件）

磁控溅射靶材

溅射时靶材持续放电发热，温度过高会：靶材变形、靶材开裂、膜层色差、靶材中毒，一般控温 15～25℃。
电子束蒸发坩埚、电子枪腔体
电子束高温熔料，电子枪线圈、坩埚水冷，防止变形、灯丝烧毁。
真空分子泵、复合分子泵
分子泵高速转子发热，必须持续水冷，超温直接报警停机、损坏轴承。
扩散泵、油增压泵
加热炉体持续高温，夹层通冷却水带走热量，保障泵油稳定蒸汽压。
真空腔体、门体、法兰、离子源、阳极辅助源
长时间镀膜腔体蓄热，防止密封圈高温老化漏气；离子源放电发热需恒温。
深冷机自身散热冷凝器
整套 Polycold 深冷机组的散热端，全部依靠普冷冷水机供水散热，水温过高深冷打不到低温。
基片转架、加热板冷却回路

工艺需要低温基板时，用普冷循环控温。

三、分类及温度规格

1. 常温型水冷机（最常用）

控温范围：10～30℃，精度 ±0.5℃/±1℃
应用：靶材、分子泵、扩散泵、腔体冷却
2. 低温普冷机（低温冷水机）
控温范围：-5℃～15℃，单级压缩，乙二醇水溶液循环
应用：高精度光学镀膜基板冷却、高功率旋转靶冷却
3. 风冷式普冷机
自带风机散热，无需外接冷却塔，适合车间缺水、小型单机镀膜机
4. 水冷式普冷机

外接冷却塔，散热效率高，大功率连续生产镀膜产线标配（多台磁控、卷绕镀膜）

四、普冷与深冷设备核心区别对照表

项目 普冷冷水机（普通冷却） 深冷水汽捕集机
制冷系统 单级压缩，水冷 / 风冷散热 复叠式两级压缩
工作温度 5℃～30℃，最低 - 5℃ -80℃~-135℃超低温
介质 清水 / 乙二醇防冻液 低温冷媒（R23/R404 等）
核心功能 设备散热、恒温控温 真空腔水汽、油蒸气凝华捕集
安装位置 设备外部，管路接发热件 真空腔内置冷阱盘管
除霜功能 无 标配自动电加热除霜系统
工艺价值 保护设备不高温损坏，稳定放电 缩短抽真空、提升膜层纯度、降低水汽分压

配套关系 给深冷机冷凝器散热 高端镀膜可选配，非必需

五、选型关键参数

制冷量

按靶功率、分子泵数量、扩散泵功率总和核算，预留 20% 余量；多靶大型卷绕机常用 10HP~50HP，小型单机 3HP~8HP。
温控精度
装饰镀 ±1℃够用；光学精密镀膜建议 ±0.1~±0.5℃。
循环泵流量、扬程
长管路、多支路腔体需高扬程泵，避免远端部件冷却不足。
防腐材质
水路不锈钢 304/316，防止水垢锈蚀堵塞靶材水路；标配过滤器。
保护功能

水流保护、高低温报警、高压低压、缺水保护、过载停机，可对接镀膜 PLC 联动报警。

六、典型应用场景

装饰磁控镀膜（五金、ABS 塑料镀铝、镀铬）：标配 3~10HP 水冷普冷；

光学电子束镀膜机：双路普冷，一路靶材 / 离子源，一路给深冷主机散热；
卷绕连续镀膜线：大功率水冷冷水机组，配套闭式冷却塔；

实验室小型蒸发机：小型风冷普冷，安装便捷。

七、日常维护要点

定期更换循环水，添加缓蚀剂，防止水路结垢堵靶；

清理冷凝器灰尘、冷却塔填料，保证散热，水温过高会导致靶功率上不去、深冷降温不足；
检查各路水流开关，单路缺水及时报警，避免靶材干烧损坏；

低温型普冷每年更换防冻液，防止低温结冰胀裂管路。

八、整套真空镀膜冷却系统搭配逻辑

完整镀膜冷却系统 = 普冷冷水机（主散热）+ 深冷水汽捕集机（真空除水汽）

流程：普冷机出水 → 分流至靶材、分子泵、扩散泵、深冷机冷凝器 → 回水循环散热；深冷机独立低温管路通入真空腔做冷阱。